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當(dāng)前位置:首頁>產(chǎn)品中心>流量計系列>微小氣體流量計>SCMFM微氣體質(zhì)量流量計 產(chǎn)品展示
微氣體質(zhì)量流量計

型 號SCMFM

所屬分類微小氣體流量計

報價

更新時間2025-03-09

產(chǎn)品描述:微氣體質(zhì)量流量計能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點是可靠性高、重復(fù)性好,壓損小,無可動部件,量程比寬,響應(yīng)時間較快,測量精度高,無需要溫度壓力補償。

產(chǎn)品概述

SCMFM微氣體質(zhì)量流量計

微氣體質(zhì)量流量計的概述:

采用關(guān)鍵矽微機械加工技術(shù)的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優(yōu)勢的MEMS( Microelectromechanical systems)氣體質(zhì)量流量計和流量控制器,主要應(yīng)用于輕工、化工、環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。
該產(chǎn)品能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點是可靠性高、重復(fù)性好,壓損小,無可動部件,量程比寬,響應(yīng)時間較快,測量精度高,無需要溫度壓力補償。

微氣體質(zhì)量流量計的技術(shù)參數(shù):

2.1  測量介質(zhì):各種氣體(乙炔氣和混合氣體除外)
2.2  流量范圍:DN3   30-300ml/min
               DN6   60-600ml/min
               DN8   80-800ml/min
               DN10  100-1000ml/min             
注:
   a)以上流量的測量介質(zhì)為空氣而言;
   b)以上流量的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)20℃,101.325kPa。
   c) 每個口徑量程范圍均可擴大
   d)特殊需要可單獨標(biāo)定
2.3   流量測量準(zhǔn)確度:±1.5%FS;±2.5%FS
2.4   工作溫度范圍:0-55℃;
2.5   工作壓力范圍:0.3MPa,0.6MPa,1.0MPa
2.6   供電電源:24VDC±10%;
2.7   輸出信號:4-20mA,RS485通訊;
2.8   環(huán)境溫度:0-55℃;
2.9   顯示位數(shù):瞬時流量為三位,累積流量10位。  

微氣體質(zhì)量流量計的工作原理:

uf感熱式芯片技術(shù)是采用大規(guī)模集成電阻的工作, 保證傳感器的高度*,解決了:“現(xiàn)在傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計無法保證其傳感器的電阻值的*性,導(dǎo)致傳感器在各個法線方向熱傳導(dǎo)速度的差異,所以傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計在傳感器校準(zhǔn)和使用過程中產(chǎn)品穩(wěn)定性存在問題,實際應(yīng)用中的熱式質(zhì)量流量計價格昂貴,大規(guī)模應(yīng)用比較難”的問題。而uf感熱式芯片的功耗大大小于普通的熱式質(zhì)量流量計,同時可靠性穩(wěn)定,安全性更好。

在芯片上,一個微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上。采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導(dǎo),使動態(tài)響應(yīng)時間大大提高。當(dāng)傳感器工作時,微熱源與環(huán)境溫度之間保持一定的溫差(通常是70℃),在芯片周圍形成固定的溫度場分布。如果氣體是單向流動,則在氣道中溫度場可用下述公式來計算:

微小氣體質(zhì)量流量計

式中:氣體流動方向為x,速度為v,a為擴散率。
如上圖(式)所示,當(dāng)氣體流過芯片時,將會帶走熱量,通過質(zhì)量流量qm和電壓V的對應(yīng)關(guān)系來計算流體的質(zhì)量流量。

微氣體質(zhì)量流量計的分類與命名      

微氣體質(zhì)量流量計的型號命名

MF?

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?

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?

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接頭類型

0:普通

 

 

 

 

 

 

 

 

1:Swagelok接頭

 

 

 

 

 

 

 

 

2:其他

 

 

 

 

 

 

 

 

連接形式

0:快速接頭

 

 

 

 

 

 

 

1:法蘭式

 

 

 

 

 

 

 

標(biāo)定方式

0:空氣

 

 

 

 

 

 

 

1:氫氣

 

 

 

 

 

 

 

2:氧氣

 

 

 

 

 

 

3:氮氣

 

 

 

 

 

 

品種

01:有顯示;有485通訊口;有4-20mA輸出

 

 

 

 

 

 

02:有顯示;有485通訊口;無4-20mA輸出

 

 

 

 

 

 

03:有顯示;無485通訊口;有4-20mA輸出

 

 

 

 

 

 

04:有顯示;無485通訊口;無4-20mA輸出

 

 

 

 

 

 

05:無顯示;有485通訊口;無4-20mA輸出

 

 

 

 

 

 

06:無顯示;無485通訊口;有4-20mA輸出

 

 

 

 

 

材質(zhì)

0:304不銹鋼

 

 

 

 

 

1:316不銹鋼

 

 

 

 

 

2:316L不銹鋼

 

 

 

 

 

3:鋁

 

 

 

 

 

4:其他

 

 

 

 

壓力

0:≤0.3Mpa

 

 

 

 

1:≤0.6Mpa

 

 

 

 

2:≤1.0Mpa

 

 

 

被測介質(zhì)

 

 

流量范圍

 

產(chǎn)品通徑

03:DN3

 

06:DN6

 

08:DN8

 

10:DN10

產(chǎn)品類型

M:質(zhì)量流量計

C:質(zhì)量流量控制器

微氣體質(zhì)量流量計的機械尺寸

 

L

D

H

G

DN3

74

30

127

G1/8

DN6

74

30

127

G1/4

DN8

90

30

127

G3/8

DN10

130

35

127

G1/2

微氣體質(zhì)量流量計的輸出

PIN1:報警輸出2
PIN2:報警輸出1
PIN4:RS485B
PIN5:RS485A
PIN11:電源負端(0V)
PIN12:電斷正端(24V)
PIN14:LOOP-  
PIN15:LOOP+
PIN3、6~10、13:信號地(報警信號參考地)

8.2 報警連接

8.3 RS485連接:

8.4 4-20mA輸出連接:

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